橫跨多重電子應用領域、領先全球的半導體供應商意法半導體(STMicroelectronics；ST；紐約證券交易所代碼：STM)宣布將擔任Lab4MEMS II專案負責人。

    Lab4MEMS II是以第一代Lab4MEMS專案(始于2013年4月)的成功經(jīng)驗為基礎而擴展的第二代專案計畫，主要研究項目是集成MEMS及微光學(Micro-optics)的微光機電系統(tǒng)(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems；MOEMS)，該系統(tǒng)可透過機械、光學及電子的集成化系統(tǒng)偵測或控制光學訊號，并保留了原專案為日后升級研發(fā)的下一代MEMS元件的試產(chǎn)線。

    下一代的MEMS元件搭配壓電(piezoelectric)或磁性材料及3D封裝等先進技術，可大幅強化產(chǎn)品的性能表現(xiàn)。如同第一代專案，Lab4MEMS II同樣是由納米電子產(chǎn)業(yè)公私合營組織歐洲納米科技方案咨詢委員會(European Nanoelectronics Initiative Advisory Council；ENIAC)合作組織(Joint Undertaking；JU)所發(fā)起。

    Lab4MEMS II是耗資2,600萬歐元(3,000萬美元)的專案計畫，合作組織橫跨9個歐洲國家、含括20個工業(yè)、學術及科研組織。憑借第一代Lab4MEMS專案所打下的成功基礎，Lab4MEMS II專案委托意法半導體擔任專案協(xié)調(diào)負責人，為研究發(fā)展提供完整的制造、技術及組織服務，引領歐洲微光機電系統(tǒng)的研究發(fā)展，站穩(wěn)歐洲MEMS產(chǎn)業(yè)在世界領先的地位。

    意法半導體擁有1,000多項MEMS專利，出貨量已突破80億顆，自有產(chǎn)能的日產(chǎn)量超過400萬顆，這些傲人的成績讓意法半導體成為歐洲MEMS專案負責人的最佳人選。

    Lab4MEMS II專案的主要研究項目是利用微光學與標準微加工技術進行設計、制造及測試各種元件，包括光學切換器(optical switche)、微反射鏡(micro-mirror)陣列、光交換連結器(optical cross-connect)、雷射器、微透鏡(micro lenses)，以縮減元件尺寸，實現(xiàn)更先進的光學系統(tǒng)。

    微光機電系統(tǒng)是一個可用來研發(fā)未來高價值商用產(chǎn)品的理想平臺，例如光學切換器、微反射鏡元件及動態(tài)顯示器(dynamic display)、雙穩(wěn)態(tài)(bi-stable)裝置、光學快門(optical shutter)，這些光學元件皆可用于微型投影機、雷射微型掃描機、新一代人機接口以及微型光譜儀(micro-spectrometer)。

    這項專案以實現(xiàn)最佳化的單軸雙反射鏡(dual single-axis mirror)制程為目標，并將致力于研發(fā)雙軸單反射鏡的各種應用可能。

    Lab4MEMS II是ENIAC JU所簽定的一個關鍵實現(xiàn)技術(Key Enabling Technologies；KET)的試產(chǎn)專案，旨在于開發(fā)對社會影響重大的技術和應用領域。

    意法半導體歐洲研發(fā)與公共事務部專案經(jīng)理Roberto Zafalon表示：「ENIAC JU研究專案的宗旨與意法半導體運用科技提高人們生活質(zhì)量的承諾完全一致，微光機電系統(tǒng)是一項很有前景的多功能技術，能夠使關鍵的光學系統(tǒng)小型化，使協(xié)會、ENIAC成員國在內(nèi)的專案成員與利害關系人受益。我們期望開發(fā)成果最終可轉化為長期的市場成長和高價值的知識型就業(yè)機會，進一步促使經(jīng)濟繁榮并造福社會。」

    Lab4MEMS II的試產(chǎn)線將擴大意法半導體Agrate Brianza的200 mm晶圓廠產(chǎn)能，并在現(xiàn)有技術中增加光學技術。此外，該生產(chǎn)線還有助于意法半導體提升這些策略性技術的實際研發(fā)經(jīng)驗，同時集成了科研能力與各種微型智能系統(tǒng)芯片及納米系統(tǒng)芯片的研發(fā)能力。不僅如此，該專案還將評估未來芯片升級到300mm的潛在優(yōu)勢和影響。

    ENIAC JU是一個公私合營的產(chǎn)業(yè)學術聯(lián)盟，成員包括ENIAC成員國、歐盟和歐洲納米電子技術研究協(xié)會(Association for European Nanoelectronics Activities；AENEAS)，目前該組織透過競標的形式為其研發(fā)專案提供大約18億歐元的研發(fā)經(jīng)費。意法半導體負責的Lab4MEMS II專案于2013年秋季得標，2014年11月開始運行。