精密氣懸浮式光阻涂布設備，符合大尺寸面板制造的產能需求趨勢

    以氣懸浮平臺控制技術進行涂布和玻璃基板傳送，無靜電及刮傷等問題

    該產品運用了Manz在光伏領域先進的自動化與控制技術

    高科技產業整合解決方案供應商亞智科技(Manz Asia Ltd.)推出了全新的光阻涂布設備 Manz Slit coater，該設備結合了德國Manz AG多年的自動化傳輸及多軸控制驅動技術，采用氣懸浮平臺控制技術進行玻璃基板的傳輸與光阻涂布，可完全免除基板靜電及刮傷的問題。另外，Manz Slit Coater 以固定龍門進行光阻涂布，與傳統Slit Coater 相比，精確性與穩定性更高。亞智科技總經理陳國平表示：“玻璃基板大尺寸化是未來的發展方向，期望在未來的‘大’競爭市場中立足，不能只依賴因為擴大基板尺寸帶來的成本降低所生產的競爭力，而是必須持續進行相關技術的革新。”

    全新的Manz Slit Coater應用于平面顯示器Array段黃光生產制程的光阻涂布，它的開發導入了源自德國母公司Manz AG的核心技術，在自動化傳輸及多軸同步控制驅動技術方面運用了氣懸浮平臺控制技術，這項技術原來應用于薄膜太陽能電池生產的激光劃線設備。而多軸同步控制技術則來自于Manz SpeedPicker 六軸機械手臂控制系統。

    “亞智科技專注于平面顯示器及觸控面板濕制程設備的研發與制造，擁有超過二十年的豐富經驗。來自Manz光伏領域先進技術的共享，使Manz Slit Coater在大尺寸面板制造的強勁發展中更具競爭力。”陳國平解釋道。Manz AG首席執行官Dieter Manz先生強調：“這也體現了Manz通過多樣化實現協同的戰略已經卓見成效。”

    傳統的Slit Coater是采用花崗巖平臺吸附基板，搭配單支或雙支機械手臂進行放板和取板，利用移動式的龍門進行光阻涂布，不僅在傳輸過程中容易造成基板刮傷以及產生靜電，在生產大尺寸面板時產出效率慢，而且移動式龍門的驅動力造成的振動，也會影響光阻涂布的均勻性及品質。亞智科技全新推出的Manz Slit Coater，采用氣懸浮平臺控制技術，上下游并可直接搭載輸送機，無需機械手臂傳送，無基板刮傷和靜電問題。固定式龍門的涂布設計，強化了結構強度及動力，還可配合大尺寸面板的需求設計，大幅地縮短節拍時間，提升生產效率。總經理陳國平還表示：“我們的創新技術能夠縮短總工程時間、降低成本，可大大提高企業的投資回報率，Manz Slit Coater具有極富吸引力的價格，將令制造商如虎添翼。”

    從2009年開始，亞智科技投入平面顯示器面板生產Array段的黃光制程設備開發，積極跨入干制程設備制造領域，進行產品多樣化布局。目前亞智科技正在進行針對高階LTPS面板生產制程的光阻涂布的開發，已進行至實驗機階段。全新雙龍門的設計，可快速進行不同光阻材質的涂布切換，減少待機。另外，搭配超硬合金材質的刀嘴設計，更可大幅降低因涂布異常造成的涂刀損壞，并減少維護時間。另外，亞智科技位于蘇州的新工廠即將于2012年5月正式投入生產，屆時將得以更快的速度響應用戶的需求，進一步擴大生產產能。

Manz G2 Slit Coater應用于觸控面板黃光生產制程的光阻涂布。

    固定式龍門的涂布系統與氣浮輸送方式，可有效控制光阻涂布的均勻性及品質，避免傳統輸送方式造成的基板損傷。