半導體測試解決方案專業品牌蔚華科技（TWSE: 3055）攜手旗下數字光學品牌南方科技，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，采用先進非線性光學技術對SiC襯底進行全片掃描，找出襯底內部的致命性晶體缺陷，用以取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產量并有助于改善制程。若以每個SiC晶錠需蝕刻2片襯底來計算，JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的襯底廠省下每年5600萬因蝕刻而損耗的成本。

    01

    需求迅速爆發 SiC襯底與組件供不應求

    唯KOH是高成本痛點

    在現今環境永續意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，SiC芯片需求迅速爆發，尤其用于生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體組件，供給量遠遠不及需求。

    第三代半導體的襯底材料質量決定下游芯片的可靠度及性能優劣，但SiC長晶速度較慢，且襯底晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC芯片制程成本居高不下，目前全球主要襯底廠皆積極投資產能擴充并改善制程，加速產業布局以搶攻市占率。襯底廠與組件廠若能在制程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量，更能及早發現問題，進而有效改善制程、提升良率，進而在第三代半導體市場中展現絕佳優勢。

    蔚華科與旗下南方科技推出的非破壞性SiC缺陷檢測系統，采用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描，找出襯底內部致命性晶體缺陷，以取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式。

    02

    JadeSiC-NK以非線性光學檢測取代現行

    破壞性KOH蝕刻  可降低成本提高產能

    南方科技總經理王嘉業表示，目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統采用先進的非線性光學技術，可對全片襯底表面到特定深度進行掃描，反應晶體結構信息，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握襯底質量，未來生產出的組件質量與效能也能更加穩定。

    王嘉業進一步說明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出襯底中的致命性晶體缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相較現行將SiC晶錠切片后取上下二片襯底進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與襯底成本。以每個長晶爐每月產出四個晶錠為例，采用JadeSiC-NK后，每個晶錠可省下二片襯底成本（每片6寸襯底以800美元計），因此可推估一個長晶爐每年可省下人民幣56萬元，若是具有100個長晶爐的襯底廠，一年即可省下人民幣5600萬元！此外，JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行100%的晶圓檢查，進行詳細的晶錠分析和批次追踨分析，協助客戶在高技術門檻的第三代半導體市場加速制程及產量優化。

    陽明交通大學光電工程學系講座教授郭浩中表示，蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統，將非線性光學技術應用在第三代半導體的檢測分析，有助突破目前業界在量產及制程改善的技術瓶頸，對于產業鏈發展提供極大推力，期盼此系統能以更有效更穩定的檢測方法，建立業界SiC襯底檢測標準，成為產業界非線性光學技術的領航品牌，引領市場應用持續創新及突破。

    蔚華科技與南方科技共同推出業界首創JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，協助第三代半導體客戶節省成本并提高產出

    03

    從設備代理到自有產品

    跨足光學檢測領域 蔚華科前景可期

    蔚華科技總經理楊燿州表示，考慮經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構，蔚華不斷加強投資自有產品開發以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過并購南方科技，加速自有產品的發展進程，讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測，首先鎖定極具前景的第三代半導體材料缺陷檢測，對客戶、員工及投資人來說都將是非常振奮人心的新局。

    楊燿州進一步指出，蔚華與南方科技自經銷合作以來就秉持共同成長、互相成就的初心，成立先進光學材料檢測實驗室讓獨特的光學檢測技術更快進入業界應用，透過客戶的反復驗證，進而調整產品規格以滿足客戶需求。除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、硅光子等先進光學檢測技術的商業化，持續加大研發能量有效整合集團資源，發揮綜效。

    光電科技工業協進會董事長邰中和則表示，非常樂見兩家臺灣企業透過互補雙贏的結合產生綜效，更為產業創造巨大價值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統是極具指針性的技術突破，不但對全球第三代半導體業來說是可以大幅降低成本并增加產能的革命性產品，更能讓全球看見蔚華與南方科技在光學領域的技術實力，在未來蓬勃發展的第三代半導體市場扮演關鍵角色。

    蔚華科與旗下南方科技發表業界首創非破壞性SiC缺陷檢測系統，搶攻第三代半導體檢測分析市場（左起：蔚華科技總經理 楊燿州、蔚華科技董事長 秦家騏、光電科技工業協進會董事長 邰中和、技嘉科技董事長葉培城、南方科技董事長陳怡然、南方科技總經理 王嘉業）

    關于蔚華科技

    蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區半導體封測解決方案專業品牌，擁有先進的全方位解決方案及產品，提供半導體各個制程與不同產品的測試、封裝、檢測、驗證等設備銷售、應用工程與客戶服務需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, Southport, TASMIT, TESCAN, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導體設備領導品牌。蔚華集團以專業分工，提供半導體、電子制造、通訊及車用電子等科技產業高質量的整合解決方案。蔚華科技成立于1987年，總部位于臺灣新竹，于上海、蘇州、深圳、成都、高雄皆有服務據點。更多訊息請瀏覽公司官網 www.spirox.com。

    關于南方科技

    南方科技成立于2014年8月，創辦團隊集合了光學、材料、物理、信息等跨領域人才，將新穎的光學設計觀念導入光學工程領域。透過先進光學簡單化、模塊化、數字化的核心理念（光學模塊化、數字化、軟件化的核心理念，讓艱深的光學運用更為友善及簡單），使研究人員專注在研究開發工作，改善實驗設計觀念、提升研究效率、縮短研發時程、揮灑研發創意，加速研究與產業技術發展的進程。南方科技以『5D顯微術』與『數字光學』兩大核心技術為基礎，將嶄新的光學觀念與技術導入先進材料分析、生醫影像、顯微3D光學檢測與數字光學應用四大應用領域。在不同的應用領域，南方致力于研發與創新，深入了解行業痛點并且專注解決關鍵問題。更多訊息請瀏覽公司官網 www.southport.com.tw。