荷蘭激光沉積設(shè)備制造商Solmates宣布，向華星光電（CSOT）出售了一套小型面板（200×200mm）脈沖激光沉積（PLD）設(shè)備，將用于武漢的OLED試產(chǎn)線。華星光電將采用新設(shè)備向OLED顯示屏上沉積ITO電極。

    Solmates擁有采用脈沖激光沉積實(shí)現(xiàn)OLED ITO電極沉積專利，并開發(fā)出能在室溫下大面積沉積ITO的技術(shù)。脈沖激光沉積可以實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)ITO沉積，Solmates表示，實(shí)現(xiàn)透明度高于目前的工藝。Solmates的設(shè)備將被安裝于自2016年底開始在武漢建設(shè)的自動(dòng)化裝配產(chǎn)線。Solmates將于2017年6月發(fā)貨。目前的設(shè)備主要用于研發(fā)，不過該技術(shù)也可以擴(kuò)展到更大基板以及用于生產(chǎn)系統(tǒng)。

    華星光電將采用該設(shè)備進(jìn)行ITO沉積，但也可以配置用于封裝層無機(jī)層的沉積，這一流程目前采用PECVD或ALD工藝。

    華星光電為TCL子公司，于2015年7月宣布建設(shè)武漢6代LTPS工廠。該廠將生產(chǎn)液晶和OLED面板，總投資26億美元。采用激光脈沖沉積法的新研發(fā)產(chǎn)線也位于該廠，將用于新技術(shù)研發(fā)和改善公司的OLED制造工藝。