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BOE京東方氧化物半導體顯示技術取得重要突破

獨家揭秘四大“硬核”創新,業內領先!
來源:京東方 更新日期:2022-01-28 作者:佚名

    隨著智慧家庭客廳娛樂、商業賽事直播等需求的增長,超大尺寸、高分辨率及高刷新率的顯示屏備受各大廠商的關注,半導體顯示性能的提升面臨一場革新,其中背板的陣列驅動是核心技術之一。

    憑借多年技術積累,京東方已在氧化物半導體顯示技術領域取得重要突破,攻克了銅(Cu)易擴散、易氧化和易鉆刻等業界難題,在業內率先實現了銅互連堆疊結構的量產,及高刷新率、高分辨率、低功耗氧化物顯示技術集成,打破了國外壟斷,在行業內持續推出低功耗、超窄邊、500Hz+電競顯示屏、超大尺寸 8K Oxide 120Hz、可變頻刷新率顯示等一系列高端技術和產品。同時在高遷移率30+cm2/Vs 氧化物技術研發方面也有很大突破,為后續高端產品的性能提升奠定了技術基礎。

京東方13.3英寸氧化物 Full In Cell UHD超窄邊框顯示屏

    氧化物半導體顯示技術具備遷移率高、關態電流低、制程工藝簡單、可大尺寸化等優點,能夠滿足未來產品高品質提升和降低能耗的雙重需求,已成為技術和市場發展的必然趨勢。然而,在氧化物技術產業化應用上,傳統的氧化物薄膜微結構在偏壓應力、光照、大電流下器件性能衰減等不穩定性問題,以及銅工藝與氧化物工藝匹配問題,是亟待半導體顯示業界解決的普遍難題。

    京東方創造性研發出銅擴散阻擋技術,提出獨有的氮氧平衡理論、界面修復理論,同時產學研聯合,在材料、器件結構和原理上均實現了突破,解決了氧化物半導體顯示技術的量產難題,在國內率先實現量產。同時集成柵驅動電路嵌入陣列基板、觸控驅動的集成化技術、高透過率的薄膜光學模型等,既實現了產品性能提升,又實現了從傳統非晶硅TFT向氧化物導體顯示的技術升級。開拓了一條低碳、綠色的產業和產品升級路線。

    京東方新型氧化物半導體顯示技術的“硬核”創新,主要體現在以下四個方面:

01

材料及器件新突破

    京東方通過設計獨有的銅互連疊層布線氧化物新型堆疊結構,攻克了Cu易擴散、易氧化和易鉆刻等業界難題。掌握了自主高量產性的Cu緩沖層技術,在業內率先實現銅互連堆疊結構的氧化物量產,并在京東方合肥、重慶、南京、成都等六條量產線實現規模化量產。

02

獨創性的理論新突破

    京東方率先提出氮氧平衡理論和界面修復理論,實現了氧化物特性和良率可控。通過氧化物器件中的氮氧缺陷(DNO)控制和有源層界面刻蝕修復技術,解決了由于溝道界面氧空位(Vo)缺陷和摻雜缺陷引起的Vth負偏問題,亮點不良發生率大幅降低。

03

顯示性能全面提升

    京東方創新性地提出了柵極驅動電路集成模型,首次使用直流去噪模式,功耗降低15% ,信賴性提升400%,并引入整體復位信號,解決了GOA末行失效問題。在量產產品中首次提出并應用TFT散熱設計,GOA壽命提升一倍以上,實現了全尺寸氧化物產品覆蓋。

04

功能集成業內領先

    設計高透疊層模型和高透動態補償柱狀隔墊物方案、開發源極驅動信號多路轉化技術(MUX)、氧化物觸控集成(Oxide Full In Cell)技術和智能同步驅動(Smart Sync Driving)充電補償方案,實現了高刷新率、高分辨率氧化物顯示技術集成,在業內率先實現了110英寸8K 120Hz氧化物GOA量產。

京東方 110英寸 Oxide 8K 120Hz 顯示屏

    基于強大的技術創新力賦能,京東方在半導體氧化物顯示技術在量產產品形態上的分布,從手機產品到超大的110英寸的電視產品,從10 Hz的低頻驅動產品到500Hz+的高頻驅動產品,從非觸屏到集成度更高的Full In Cell觸屏技術,基本實現了主流市場產品的全覆蓋,引領了全球半導體顯示行業的發展。

京東方 27英寸氧化物 FHD 500Hz+顯示屏

    未來,京東方將秉承“屏之物聯”創新之路,不斷提升半導體顯示性能,大力推進氧化物技術搭配低頻驅動技術的普及應用,賦能綠色經濟,不斷提升顯示產品的能效,持續為用戶推出更美、更節能的顯示產品,引領顯示產業為節能減排和“碳達峰”做出重要貢獻。

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